تحضير ودراسة أفلام رقيقة نانوية البنية من TiN بطريقة الترذيذ المغنتروني الفعال DC بنسب مزج مختلفة من Ar:N2

الملخص

تم ترسيب أفلام رقيقة نانوية البنية من نتريد التيتانيوم TiN عند ثلاث نسب مختلفة من النتروجين (10,25,50)%على ركائز زجاجية غير مسخنة باستخدام طريقة الترذيذ المغنتروني الفعال بالتيار المستمر DC. تم الحصول على الأفلام بالسماكات       nm(264، 171، 90) على الترتيب. تمت دراسة الخصائص البنيوية والمورفولوجية والضوئية والكهربائية للأفلام الرقيقة المرسبة. تظهر أنماط انعراج الأشعة السينية أن العينات تبدي طوراً غير متبلور. بينت قياسات مجهر القوة الذرية أن الأفلام الرقيقة المرسبة ذات بنية نانوية وفقاً لارتفاعات حبيباتها، كما لوحظت زيادة في خشونة الأفلام بازدياد نسبة النتروجين. يظهر التحليل الطيفي أن نفاذية الأفلام تناقصت بازدياد كل من محتوى النتروجين والسماكة. تراوحت قيم فجوة الطاقة المباشرة بين         (3.57-3.33) eV. تم الحصول على إصدار التألق الضوئي ذو الشدة الأعلى من أجل الفيلم المرسب عند نسبة نتروجين 25%. كما أظهرت الممانعة العقدية أن مقاومة الأفلام لا تتغير بتغير محتوى النتروجين.