دراسة الانتثار في الأفلام الرقيقة الثنائية بطريقة تبعثر رزرفورد المرتد

المؤلفون

  • مالك الرحية

الملخص

استعمل تبعثر رزرفورد المرتد (RBS) لدراسة الانتثار المتبادل في أفلام    Ti/Mg الرقيقة.

تم تحضير الأفلام من طبقتين مؤلفتين من التيتانيوم والمغنيزيوم, وذلك بطريفة التبخير في الخلاء من خلال توضع طبقة من التيتان فوق طبقة من المغنيزيوم على ركازة من السيليكون المطلية بطبقة من الكربون, وذلك ليتثنى لنا فصل خطوط RBS البيانية الناتجة لمختلف العناصر. كما تم إنجاز المعالجات الحرارية بطريقتين :

1-                      تحمية حرارية تقليدية (CTA).

2-                       تحمية حرارية سريعة(RTP).

ذلك ابتداء من 450 ، وقد لاحظنا تشكُل مركب Ti-Mg عند السطح الفاصل بين المعدنين (السطح البيني) للفيلم Ti/Mg, وذلك من أجل درجات حرارة تقع ضمن المجال ((450-650 0C . وتمت أيضاً معالجة خطوط RBS البيانية باستخدام برنامج RUMP.

 

Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) is used to study interdiffusion in Ti/Mg thin film system induced by thermal annealing. Bilayer films of Titanium and Aluminum were prepared by vacuum evaporation through sequential deposition of Ti and Mg on silicon substrates covered with a carbon layer.

The thermal treatment was effected by two techniques:

 

-   Classical Thermal Annealing (CTA).

-   Rapid thermal Processing (RTP) .

 

Up to 4500C no reaction has occurred, but a Ti/Mg compound was formed at the interface of a Ti/Mg for annealing at temperatures in range  450-6500C. The RBS spectra were analyzed using the RUMP simulation code.

التنزيلات

منشور

2018-12-04

إصدار

مجلد 28 عدد 1 (2006): العلوم الأساسية

القسم

Articles

الرخصة

Creative Commons License

هذا العمل مرخص بموجب Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.

  • يحتفظ المؤلفون بحقوق النشر ويمنحون حق النشر في المجلة لأول مرة مع نقل الحقوق التجارية إلى  مجلة جامعة تشرين للبحوث والدراسات العلمية-سلسلة العلوم الأساسية  بموجب الترخيص CC BY-NC-SA 04 الذي يسمح للأخرين بمشاركة العمل مع الإقرار بتأليف العمل والنشر الأولي في هذه المجلة. يمكن للمؤلفين أن يستخدموا نسخة من مقالاتهم في نشاطهم العملي وعلى مواقع علمية خاصة بهم على أن يتم الإشارة إلى مكان النشر في  مجلة جامعة تشرين للبحوث والدراسات العلمية-سلسلة العلوم الأساسية  ويمتلك القراء الحق بنسخ ونقل من المقالات والمزج والإضافة إلى اعمالهم العلمية والاستشهاد مع ذكر  مجلة جامعة تشرين للبحوث والدراسات العلمية-سلسلة العلوم الأساسية  الناشر .  

  • المجلة تستخدم ترخيص CC BY-NC-SA مما يعني
  • الإسناد - يجب عليك منح الائتمان المناسب ، وتقديم ارتباط إلى الترخيص ، وبيان ما إذا تم إجراء تغييرات.
  • يمكنك القيام بذلك بأي طريقة معقولة ، ولكن ليس بأي طريقة توحي بأن المرخص يؤيدك أو يؤيد استخدامك.
  • غير تجاري - لا يجوز لك استخدام المواد لأغراض تجارية -
  • . ShareAlike إذا قمت بإعادة مزج المواد أو تحويلها أو البناء عليها ، فيجب عليك توزيع مساهماتك بموجب نفس الترخيص مثل الأصل. لا قيود إضافية - لا يجوز لك تطبيق الشروط القانونية أو التدابير التكنولوجية التي تقيد الآخرين قانونًا من فعل أي شيء يسمح به الترخيص
  • .

كيفية الاقتباس

1.
دراسة الانتثار في الأفلام الرقيقة الثنائية بطريقة تبعثر رزرفورد المرتد. TUJ-BA [انترنت]. 4 ديسمبر، 2018 [وثق 4 نوفمبر، 2026];28(1). موجود في: https://journal.latakia-univ.edu.sy/index.php/bassnc/article/view/4983